Halbleiterinspektion

In der Halbleiter-Branche werden schnellste Taktzeiten, Dynamik und Genauigkeiten im Nanometerbereich gefordert – genau die richtige Herausforderung für Triamec Servo-Drives.

Bei diesen Applikationen kommen häufig Luftlager zum Einsatz, die wegen ihrer schwachen Dämpfung schwierig zu regeln sind. Gerade hier können Triamec Servo-Drives mit ihrer 100kHz-Regelung ihre Vorteile voll ausspielen: Minimale Einschwingzeit kombiniert mit bester Störunterdrückung ergeben stabile, robuste Prozesse.

Gantry-Systeme sind typisch. Triamec bietet MIMO Gantry direkt auf den beteiligten Servo Drives mit optimalem Lastausgleich bei 100kHz - ohne die Komplexität und Totzeiten einer übergeordneten Steuerung.