Nanometergenauigkeit trifft auf extreme Dynamik
Die Halbleiterindustrie verlangt schnellste Zykluszeiten, extreme Dynamik und Präzision im Nanometerbereich. Waferinspektion, Laserbearbeitung, Die-Bonding und Wire-Bonding bringen die Bewegungssteuerung an ihre absoluten Grenzen.
Zu den kritischen Anforderungen zählen eine Positioniergenauigkeit im Sub-Nanometerbereich, minimales Stillstandsrauschen, ultraschnelle Bewegungs- und Einschwingzeiten sowie ultrapräzises Scannen mit konstanter Geschwindigkeit. Luftlagersysteme und positionssynchronisierte Laserauslösung erhöhen die Komplexität der ohnehin schon anspruchsvollen Spezifikationen zusätzlich.
100-kHz-Steuerung für Präzision im Sub-Nanometerbereich
Triamec-Servoantriebe bieten die für die Halbleiterfertigung erforderliche Präzision und Dynamik. Die 100-kHz-Regelungsfrequenz ermöglicht minimale Einschwingzeiten, überragende Scan-Genauigkeit und geringstes Stillstandsrauschen für stabile Prozesse mit schwach gedämpften Luftlagern.
Fortschrittliche Regelalgorithmen ermöglichen eine ausgeklügelte Kompensation im 10-kHz-Bereich, um externe Störungen zu bewältigen, während die Pulsing Unit Laserimpulse mit bis zu 10 MHz auslöst. Diese Architektur ermöglicht eine deterministische Laserauslösung, die mit der Achsbewegung synchronisiert ist.
Wichtige Fähigkeiten
Sub-Nanometer-Stillstandsstabilität
Für kritische Positionierungsaufgaben
Ultraschnelle Bewegungs- und Einrichtungszeiten
Für maximalen Durchsatz
Unübertroffene
Scan-Genauigkeit
Für anspruchsvolle Inspektion und Laserbearbeitung
Präzise Laserauslösung
Synchron zur Achsbewegung mit der Pulsing Unit bis zu 10 MHz
Erweiterte MIMO-Portalkontrolle
Lastverteilung ohne Controller-Overhead
V-const-Abtastung und Bewegungsprofile
Für gleichbleibende Verarbeitungsqualität
Von der Wafer-Inspektion bis zur Laserbearbeitung
Triamec-Servoantriebe versorgen kritische Halbleiterfertigungsprozesse mit Strom. Zu den Anwendungsbereichen zählen Waferinspektion, Laserbearbeitung, Die-Bonden, Wire-Bonden und Hybrid-Bonden.
Schneeberger Hochpräzisions-Stages
Herausforderungen
Sub-Nanometer-Positionierung mit minimalem Stillstandsrauschen und ultraschnellen Bewegungs- und Einstellzeiten für die Halbleiterinspektion. Externe Einflüsse wie Kabelkräfte erfordern eine Echtzeitkompensation.
Lösungen
Triamec-Servoantriebe, die über Tria-Link mit Kompensationsalgorithmen auf dem Antrieb verbunden sind.
Ergebnis
Gantry-Wafer-Tische erreichen eine Positioniergenauigkeit im Sub-Nanometerbereich und Zykluszeiten, die für anspruchsvolle Inspektionsprozesse erforderlich sind. Verbesserte Ausbeute durch präzise Positionierung und gesteigerte Produktivität.
Lassen Sie uns über Ihre Halbleiteranwendung sprechen
Unsere Motion-Control-Experten kennen die besonderen Herausforderungen der Waferinspektion und Laserbearbeitung. Kontaktieren Sie uns, um zu erfahren, wie die 100-kHz-Regelungstechnologie Ihre Positioniergenauigkeit und Zykluszeiten verbessern kann.